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1.     上世纪80年代，科学家就开始研究EUV，领头的是贝尔实验室，随后，美国能源部旗下的三大实验室：劳伦斯利弗莫尔，劳伦斯伯克利和桑迪亚加入，能源部投资了几千万美元；

2.     为了加快研究，1997年成立了EUV LLC联盟，英特尔、AMD、摩托罗拉等公司加入EUV研发，光刻机制造公司硅谷集团和阿斯麦亦在其中；

3.     美国拒绝了日本光刻机公司加入LLC联盟，当时，在技术实力和市场份额上，日本的尼康和佳能处于领先地位，但日本半导体对美国产生了威胁，华盛顿不想在下一代技术上让日本领先；

4.     阿斯麦依赖德国蔡司，EUV光刻机离不开高端镜头，用于EUV技术的镜头只允许一个原子的误差，相当于如果将镜子缩放到一个国家的大小，最高的凸起将只有1毫米高；

5.     EUV研发耗时、耗资巨大，直到2012年，EUV光刻机技术才被证实可行，但仍需大量资金投入，阿斯麦向自己的客户寻求支持，台积电于是投资了14亿美元，三星投资了9.74亿美元，英特尔投资41亿美元；

6.     直到2018年，EUV光刻机才规模量产，但投资最多的英特尔认为EUV光刻机制造成本较高，不具备经济性，因此在使用上并不积极，相反，台积电极力看好EUV光刻机潜力，最终凭借EUV实现生产工艺的反超，最终，英特尔市值只有1600亿美元，远低于台积电的7600亿，而在2018年之前，英特尔的技术遥遥领先于台积电： $英特尔(INTC)$ $台积电(TSM)$ $阿斯麦(ASML)$ $美国超微公司(AMD)$