10月13日，光刻机概念股震荡上扬。 截至收盘，新莱应材（300260.SZ）、 $旭光电子(600353)$ 、凯美特气（002549.SZ）涨停，江丰电子（300666.SZ）、国林科技（300786.SZ）、华特气体（688268.SH）涨超10%，苏大维格（300331.SZ）、*ST和科（002816.SZ）等纷纷跟涨。 全球大厂爆买光刻机 在半导体产业里，光刻机作为上游设备领域的代表性产品，对产业发展起着决定性作用，是推动芯片制程进步、引领行业发展的关键力量。 近期，半导体光刻机领域动作不断，英特尔和三星等大厂提高了光刻机订单量。其中，英特尔将ASML的High-NA EUV订购数量从1套提高到2套，EUV的订购数量从3套提高到5套；三星则将EUV的订购数量从原本的5套提高到7套。 业界指出，随着芯片制程不断向2纳米以及2纳米以下迈进，EUV正逐渐逼近物理极限，而High NA EUV是开启半导体产业未来的核心技术。 据悉，高数值孔径(High-NA)是衡量镜头聚焦光线能力的指标，数值越高，分辨率越高，则能够绘制更精细的电路图案，能大幅缩短制造时间，从而降低缺陷率并提高良率。价格方面，单台High NA EUV光刻机售价约3.7亿美元（约合人民币26亿元），也被称为芯片市场上的“圣杯”。 今年9月，SK海力士宣布，已将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）引进韩国利川M16工厂。此次引进的设备为荷兰ASML公司推出的TWINSCAN EXE:5200B，它是首款量产型High-NA EUV设备。 SK海力士计划通过引进该设备，简化现有的EUV工艺，并加快下一代半导体存储器的研发进程，从而确保在产品性能和成本方面的竞争力。另有消息称，SK海力士计划在未来两年

（图片系AI生成） 11月11日晚间，旭光电子（600353.SH）发布公告称，公司拟变更定增募投项目部分资金用途，并宣布将项目建成时间延期一年。变更和延期的项目即是公司三大主业之一的电子材料业务直接关联的电子封装陶瓷材料扩产项目和电子陶瓷材料产业化项目（一期），同时也是公司跻身最热门的半导体和光刻机概念的由来。 钛媒体APP注意到，主营业务涵盖电力设备、军工和电子材料的旭光电子近来在二级市场可谓“风光”，自9月下旬以来，股价已实现翻倍。由于业务线较多，所以也有着包括半导体、光刻机、军工、华为、特高压等多个热门概念“傍身”，甚至因为是四川企业，还享受了一波西部大开发“炒地图”的行情。 但具体到业绩，主业之一的电子材料板块对公司整体的贡献还非常有限，上半年营收仅占公司营收的不足5%。 两募投项目延期一年 根据公告，此次拟变更资金用途和项目延期的项目均为旭光电子2022年的定增募资项目。 2022年9月，公司以非公开发行方式发行4828.80万股，发行价11.39元/股，募资5.50亿元，扣除各项发行费用后募资净额5.35亿元，计划分别用于电子封装陶瓷材料扩产项目、电子陶瓷材料产业化项目（一期）和补流，预计前两者达到预定可使用状态的日期为2024月12月。 根据彼时的公告，电子封装陶瓷材料扩产项目建成后将新增高性能氮化铝粉体430吨及95.1万片电子陶瓷产品的生产能力。据测算，达产年份可新增销售收入29272.45万元。 电子陶瓷材料产业化项目（一期）建成后则将形成年产氮化铝陶瓷基板500万片，氮化硅陶瓷基板120万片，氮化铝结构件11000片、高温多层共烧氮化铝陶瓷基板6万片及高温多层共烧氧化铝陶瓷基板6万件等电子陶瓷相关产品。据测算，达产年份可新增销售收入67028.25万元。 但是，2年时间过去，上述两项目投资进度均不及预期。截至今年9月末，公司决定对该两项目达到预定可使