达仕科技亮相SEMICONCHINA2023,总经理陈志德:激光切割设备有三大优势
随着在半导体领域竞争的白热化,未来几年将会是芯片产业投资一定是主流,世界主要芯片大国预期将连续增长,设备未来几年市场需求将会节节攀升。
市场近期一批以达仕科技为代表技术先进产品的设备公司,为我国事业添砖加瓦。
达仕科技激光切割(Laser设备),主要包含无缝切割、激光开槽、激光隐形切割三类设备。整体设备与技术满足中国客户的需求,并拓展美国、欧洲、日本、韩国、中国台湾、新加坡、泰国、马来西亚等全球性服务,依据客户需求提供客制化服务。
达仕科技总经理陈志德先生表示,达仕科技拥有先进的激光切割(Laser)设备,激光切割隐形切割技术最初用于切割超薄半导体晶圆,在各种厚度的硅晶圆、带有芯片贴装薄膜、低k材料和微机电系统(MEMS)的特种晶圆上都表现良好。
陈志德先生总结激光切割(Laser)设备主要优势有三大点:
1,无缝切割提高晶圆利用率
传统金刚石刀片,锯切割不同厚度的硅片,刀片的厚度、粒度、旋转和切割速度会影响切割质量,达仕专利红外光源,SLM多焦点和RTF的实时焦点跟随技术,速度是传统砂轮切割的5倍,切割道最宽不超过5um,大幅降低切割道尺寸,切割道较窄wafer的利用率更高,提高同尺寸wafer的芯片产出。
2,激光开槽技术效率快
激光开槽,采用皮秒光源及最新SLM多焦点技术,效率快、切割精度高,有效控制开槽深度及热影响区,多用于Low-K产品、LCD driver产品、GaN产品,碳化硅的开槽。
3,激光隐形切割
采用 RTF实时焦点跟随技术,主要可以用在碳化硅、光学玻璃等材料,大幅提高同类单焦点设备速率的1.5倍以上。
值得注意的是,无缝隙激光切割采干式工艺,不需要使用水、刀刃等耗材,每个单元每年可减少大量用水量,且隐形切割无需清理刀片、碎屑及激光烧蚀技术带来的问题,过程对环境更温和。
达仕科技第三代激光划片机,采用无缝隐形切割技术为业界领先,一站式营销及服务网路优势,为半导体制造和封测厂提供领先的解决方案,为企业转型带来新契机,达仕科技新一代激光划片机成为SEMICONCHINA2023大会中最吸睛设备之一。
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