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天准科技:硅行面向40nm制程BFI设备获得客户订单

半导体行业联盟2025-05-06

更多封测信息,推荐关注:近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的苏州硅行半导体技术有限公司(下文简称“硅行半导体”)宣布,其自主研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已收到客户正式订单,即将交付客户工厂使用。作为半导体制造前道工艺的核心检测装备,明场晶圆缺陷检测设备长期受制于海外技术垄断;此次面向40nm工艺制程的TB1500获得客户正式订单,标志着我国在前道微观缺陷检测装备...

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