中微半导体设备(上海)股份有限公司的主营业务是高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备、化学机械抛光（CMP）设备、MOCVD设备、其他设备。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产品和服务的不断进步。公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2026年6月30日，公司已申请3837项专利，其中发明专利3097项；已获授权专利2418项，其中发明专利1925项。