作者丨财报研究社Pro

一台刻蚀设备要稳定运行，除了整机技术，还离不开藏在背后的电源系统。这些不太显眼的核心部件，能撑起多大的国产替代生意？

上交所11月9日公布的上市委会议安排显示，江苏神州半导体科技股份有限公司将于2026年11月16日接受科创板IPO审议，拟募资约21.83亿元。公司主要提供等离子体电源系统及检测、维修、升级等技术支持服务，已经进入中微公司等设备厂商供应链。

公司的增长也走到了新阶段。2023年至2025年，收入从2.61亿元增至6.54亿元。公司预计2026年收入为8.5亿—9亿元，归母净利润2.8亿—3亿元；这些是企业预测，尚待全年经营结果兑现。

从早期技术服务到自研产品放量，神州半导体已经积累了一批客户和应用。但头部客户采购节奏变化、新产品迭代和大规模扩产，也会影响收入与利润。理解它的成长空间，要先看清这门生意如何进入客户产线。

整机设备背后，

电源为什么是一道门槛？

在刻蚀和薄膜沉积等工艺中，等离子体电源提供工艺所需的能量。输出功率、频率和响应速度等，会影响等离子体状态，进而影响加工速率、均匀性和稳定性。设备不同、工艺不同，对电源的要求也会变化，供应商需要跟着客户一起调试。

这类产品并非装上就能用。电源不仅要通过设备厂验证，还要随整机在芯片产线完成验证。设备定型后，更换核心部件往往意味着重新适配和测试，因此客户通常会保持配套方案相对稳定。通过认证能带来持续合作的基础，但供应商仍要跟上工艺变化。

据招股书引用的弗若斯特沙利文资料，2025年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统国产化率约13%，远程等离子体源系统不足7%。这两个细分市场仍主要由海外厂商供应，也给国内企业留下了替代空间。

神州半导体布局了射频电源、高压脉冲电源、阻抗匹配器和远程等离子体源系统。随着刻蚀深宽比提高、工艺更加复杂，客户需要更精细地控制能量输出。零部件厂商能否把这些要求做进产品，决定了它能配套哪些设备。

自研产品卖起来了，

客户合作能拓宽多少？

神州半导体的自研产品已经向中微公司、拓荆科技、北方华创等国内设备厂商供货。其中，中微公司是公司最重要的客户之一，也是观察产品迭代进展的主要窗口。

按二轮问询回复，公司围绕中微公司的高深宽比刻蚀设备开发了APG、AVG射频电源，已随设备在先进存储芯片产线实现量产应用。合作也向其他设备延伸，Focus系列阻抗匹配器已配套ICP刻蚀设备，APD系列已配套PECVD薄膜沉积设备。

技术路线变化，也在改变收入结构。部分刻蚀场景由“双射频电源”转向“单射频电源+高压脉冲电源系统”，2026年上半年，公司高压脉冲电源系统收入达到4631.26万元。另一款Advocate系列射频电源3月送样、5月起陆续获得订单并交付，按10月27日披露的问询回复，已取得60余套订单。

自研产品已成为收入增长的重要来源。2023年至2025年，公司收入分别为2.61亿、4.46亿和6.54亿元，年均复合增长58.31%；同期自研产品收入从2117.65万元增至3.54亿元，2025年占主营业务收入55.11%。技术服务仍是另一块重要业务，公司并非只靠新设备配套销售获得收入。

高毛利也要结合产品结构看。2023年至2025年，主营业务毛利率分别为62.56%、66.94%和66.65%；2026年上半年降至62.56%，低于上年同期68.92%。公司解释，远程等离子体源系统放量，以及较高毛利的部分射频电源收入下降，影响了整体毛利率。

同一时期，收入增长并没有同步变成利润增长。2026年上半年收入约3.75亿元，同比增长11.18%，扣非归母净利润约1.09亿元，下降7.61%。公司将利润变化主要归因于研发费用增长及股权激励影响。2023年至2025年累计研发投入约2.04亿元，占累计收入14.97%，新产品放量的同时，研发支出也需要持续承担。

募资21.83亿元，

扩产还要跟上订单节奏

这次募资方案已经调整。公司在二轮问询回复中取消了原3.1亿元补充流动资金项目，并将2900万元的部分建造计划转由自有资金承担，拟募资额由25.22亿元下调至约21.83亿元。资金主要用于先进工艺电源类零部件研发及产业化、技术支持服务体系升级扩容、上海产业化基地和技术研发创新中心建设。

钱将投向研发、生产和服务能力，但扩张能走多快，还要看客户订单。设备研发完成、零部件通过验证，再到批量采购和确认收入，中间都有时间差。新增产线能否有效利用，需要和客户的设备出货、产线建设节奏相匹配。

客户集中度是绕不开的问题。2025年，前五大客户贡献72.89%的收入，中微公司占主营业务收入49.19%；2026年上半年，后一个比例降至38.89%。头部客户带来验证和订单机会，也会让公司受到少数客户采购安排的明显影响。

订单已有新的进展。截至2026年10月14日，公司当年与中微公司新签自研产品订单约4.97亿元，另有约1.19亿元技术支持服务订单；公司整体在手订单余额约6.38亿元。这两类数据分别是当年新增订单和时点未履行完毕订单，存在交叉，不能相加当作未来收入。

长期合作也不等于独家供应。问询回复披露，双方协议未约定中微公司排他性采购。神州半导体要维持订单，仍需在可靠性、价格和技术迭代上保持竞争力；拓展更多客户，也有助于减少单一客户波动带来的影响。

最新财务数据给出了更完整的图景。2026年前三季度经审阅收入约6.65亿元，同比增长24.15%；归母净利润约2.23亿元，增长19.19%。但经营活动净现金流约8387万元，同比下降41.79%。业务增长之后，备货、交付与回款如何衔接，同样关系到扩产所需的资金。

对神州半导体来说，现有量产项目证明了产品已进入客户实际应用，自研产品和新订单也提供了继续发展的基础。接下来，更多设备平台完成验证、客户覆盖扩大，以及订单转成收入和现金的速度，将共同影响扩张效果。

从产业看，国产整机持续迭代，会给核心零部件带来更多配套机会。设备厂与零部件厂商协同研发、在产线中积累验证经验，有助于完善国内供应能力。等离子体电源这类细分环节，也有望随着产品更稳定、应用更广泛，逐步形成更成熟的产业配套。

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