拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种抽气环及薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种抽气环及薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202521890500.7，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本实用新型提供了一种抽气环及薄膜沉积设备。所述抽气环设于工艺腔室的侧壁，其外侧环绕有抽气通道，其中，所述抽气环上分布有多个抽气孔，所述抽气通道的至少一处设有连通抽气泵的抽气口，用于经由所述多个抽气孔从所述工艺腔室内部抽气。至少一个所述抽气孔为折线孔，其在所述抽气环的径向截面上设有弯折，其中，位于所述抽气环第一位置的第一抽气孔到其最近抽气口的第一孔外路径长度，小于位于所述抽气环第二位置的第二抽气孔到其最近抽气口的第二孔外路径长度，所述弯折使所述第一抽气孔的第一孔内路径长度大于所述第二抽气孔的第二孔内路径长度。

今年以来拓荆科技新获得专利授权26个，较去年同期减少了54.39%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.44亿元，同比增14.29%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目109次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息736条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可44个。

数据来源：企查查

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