SK海力士目标2028年将High NA EUV技术用于DRAM内存量产

IT之家09-11

IT之家 9 月 11 日消息,参考路透社此前报道,SK 海力士在一份声明中表示,该企业目标在 2028 年将 High NA(高数值孔径)EUV 光刻图案化工艺应用于 DRAM 的大规模生产。ASML 在当地时间本月 8 日宣布与台积电、三星电子、英特尔合作,推动 High NA EUV 生态系统转向面积更大的 12 英寸掩膜(光罩)。SK 海力士正评估是否加入这一联盟。IT之家注意到,三星电子...

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