ASML:High NA EUV累计曝光超135万片晶圆,10台客户系统投运

IT之家09-02

IT之家 9 月 2 日消息,ASML High NA EUV 产品管理资深副总裁 Greet Storms 在昨日举行的 SEMICON Taiwan 2026 国际半导体展 IC 论坛上分享了这一半导体图案化技术迈向大规模量产的最新进展。ASML 表示,其 High NA EUV 机台已累计实现了超 135 万片晶圆的曝光;已有 4 个客户的 10 台 High NA EUV 设备投入运行,...

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