中微公司：先进薄膜设备累计出货突破500个反应台

据中微公司消息，近日，公司先进薄膜设备累计出货突破500个反应台，产品涵盖低压化学气相沉积(LPCVD)设备、金属薄膜沉积(MDP)设备、介质薄膜沉积(DDP)设备等多款核心机型。此次突破，标志着中微公司在高端薄膜沉积设备领域已实现规模化商用，薄膜设备业务已成长为公司又一核心增长板块。