北方华创:臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系

证券之星08-11 16:33

证券之星消息,北方华创(002371)08月11日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:请问公司,在清洗设备中,臭氧水清洗比传统rca和spm清洗相比,在先进制程上具有哪些优势?是否为先进制程清洗方式的重要选择?

北方华创回复:您好,随着半导体制程持续演进,器件结构与材料体系日趋复杂,清洗技术路线呈现多技术协同、分场景适配的特征。臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系。感谢关注!

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责任编辑:刘浩然

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