北方华创:ALE设备已实现多项工艺应用

证券之星08-11

证券之星消息,北方华创(002371)08月11日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:公司有ALE原子层刻蚀工艺设备吗?具体原理是什么?

北方华创回复:您好,公司ALE设备已实现多项工艺应用。ALE核心原理是以单原子层为单位,通过“表面吸附—反应去除”的分步循环反应,逐层精准去除材料表面原子,从而实现高精度、高均匀性且低损伤的刻蚀过程。感谢关注!

本文数据来源于深圳证券交易所互动易,仅供参考不构成投资建议。

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责任编辑:刘浩然

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