截至2026年7月24日收盘，恒运昌（688785）报收于295.29元，较上周的295.0元上涨0.1%。本周，恒运昌7月22日盘中最高价报311.33元。7月21日盘中最低价报260.17元，股价触及近一年最低点。恒运昌当前最新总市值199.92亿元，在半导体板块市值排名91/177，在两市A股市值排名917/5200。
本周关注点
- 来自机构调研要点：公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态。
- 来自公司公告汇总：首次公开发行网下配售限售股将于2026年7月28日上市流通，数量为816,783股。
- 来自机构调研要点：2026年一季度公司实现营业收入1.24亿元。
- 来自机构调研要点：截至2025年年报披露日，公司在手订单约1.57亿元。
- 来自机构调研要点：公司已确定上游元器件的全国产化方案，持续推进全面国产化验证。
机构调研要点
2025年公司实现营业收入约5.29亿元，以来自自研产品的收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等。2026年一季度公司实现营业收入1.24亿元。截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，并应用于光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。等离子体射频电源系统定制化程度较高，公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年，公司先后推出CSL、Bestda、spen/Basalt、Cedar四代产品系列。截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。
客户可根据自身需求，单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。
半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个环节，验证周期长。公司早在2018年与拓荆科技开展国产化开发及验证工作，产品于2020年下半年开始逐步批量交付。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商加速核心零部件国产化，验证周期逐步缩短。
公司的引进产品与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。引进产品聚焦真空泵、质量流量计、等离子体直流电源，将进一步拓展客户范围。真空泵客户目前以精密光学镀膜及半导体设备客户为主，公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用；质量流量计目前收入较少，集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面板等领域的市场空间，同时加快自研质量流量计的研发落地和出货；引进的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学领域客户为主，公司自研的等离子体直流电源已批量出货，两者相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。未来公司将借助外部并购等战略举措，积极物色境内外优质标的和技术，增强核心零部件供应能力。
公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行动态管理。为保证生产的连续和稳定性，公司对常用材料建立安全库存机制。自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiC MOS、LDMOS、部分DC和FPGA等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。
2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多个措施提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能建设，加速产能落地；公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，为后续产能释放奠定基础。
公司公告汇总
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行网下配售限售股将于2026年7月28日上市流通，本次上市流通数量为816,783股，占公司总股本的1.21%，限售期为自公司首次公开发行并上市之日起6个月。本次解除限售的股份为网下配售限售股，股东已履行相关承诺，保荐人中信证券对公司本次限售股上市流通无异议。
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