拓荆科技获得发明专利授权：“一种晶圆的静电吸附方法及静电吸附卡盘”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆的静电吸附方法及静电吸附卡盘”，专利申请号为CN202211609850.2，授权日为2026年7月24日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆的静电吸附方法及静电吸附卡盘，晶圆置于反应腔室内的静电卡盘上，静电吸附方法包括：在静电卡盘上施加第一电压值以对晶圆进行静电吸附，判断是否吸附成功；响应于吸附失败，在反应腔室内检测晶圆的翘曲度；基于翘曲度获取适配的吸附电压值，以该适配的吸附电压值修正施加在静电卡盘上的电压以重新吸附晶圆；以及将以上步骤循环执行预设次数后，响应于仍然吸附失败，停止工艺流程并进行报警。

今年以来拓荆科技新获得专利授权18个，较去年同期减少了41.94%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了7.7亿元，同比增1.8%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息731条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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