迈为股份获得实用新型专利授权：“一种等离子体薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202521660513.5，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本实用新型提供了一种等离子体薄膜沉积设备，涉及等离子体工艺设备技术领域，能够解决等离子体工艺设备中清洗气体通道容易爆裂损坏导致漏气的问题。沉积设备包括工艺腔以及与工艺腔连通的进气机构，工艺腔内设有气体扩散组件；进气机构包括主通道、工艺气体通道以及清洗气体通道，主通道的一端连通气体扩散组件，主通道的另一端连通工艺气体通道和清洗气体通道。其中，工艺气体通道包括第一绝缘管道，清洗气体通道包括第二绝缘管道，第二绝缘管道包括内层管以及套设于内层管外围的外层管。

今年以来迈为股份新获得专利授权26个，较去年同期减少了44.68%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了10.82亿元，同比增13.78%。

通过天眼查大数据分析，苏州迈为科技股份有限公司共对外投资了39家企业，参与招投标项目133次；财产线索方面有商标信息59条，专利信息597条，著作权信息63条；此外企业还拥有行政许可87个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。