迈为股份:晶圆混合键合设备对准精度提升至30nm@3σ

证券之星07-15

证券之星消息,迈为股份(300751)07月15日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:HBM是AI算力核心存储,长鑫大力布局HBM量产,公司混合键合设备是3D堆叠必备设备,能否介绍与长鑫在HBM工艺联合研发进展,是否同步迭代下一代设备?

迈为股份回复:投资者您好,在键合工艺设备领域,公司的晶圆混合键合设备经研发团队持续创新,成功开发全新对准方案,将对准精度从50nm@3σ提升至30nm@3σ,达到国内领先、国际先进的技术水平。该设备已应用于 3D IC、异质异构集成等先进封装工艺,实现超高密度芯片堆叠与互连,助力客户加速突破先进封装技术瓶颈。此外,公司基于混合键合工艺首创了3D封装成套工艺设备解决方案,已与多家客户签订整线订单,计划于今年完成交付。该方案涵盖晶圆减薄、激光开槽、等离子体切割、等离子活化和亲水性处理及混合键合等全套设备及工艺,将助力客户构建完整先进封装产线,全面提升量产竞争力。感谢您的关注!

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责任编辑:陈思雨

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