截至2026年7月10日收盘，恒运昌（688785）报收于398.97元，较上周的376.15元上涨6.07%。本周，恒运昌7月9日盘中最高价报431.0元。7月6日盘中最低价报348.0元。恒运昌当前最新总市值270.11亿元，在半导体板块市值排名95/177，在两市A股市值排名773/5202。
本周关注点
- 来自机构调研要点：公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。
- 来自机构调研要点：第四代Cedar系列等离子体射频电源系统处于验证状态。
- 来自机构调研要点：2024年公司在国产等离子体射频电源厂商中市场份额位列第一。
- 来自机构调研要点：2025年公司产能利用率达98.51%。
- 来自机构调研要点：公司已授权专利296项，其中发明专利123项。
机构调研要点
截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将积极响应拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，同时推动产品向光伏、显示面板、精密光学等领域拓展。
等离子体射频电源系统技术要求极高，直接关系到晶圆制造的工艺能力、良率和效率。公司历经十年推出CSL、Bestda、spen/Basalt三代产品系列，分别支持工业级、成熟制程和先进制程。截至2025年年底，第四代Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源与匹配器整合为一体化平台，支持快速数据采集，可支撑更先进制程。同期，MFC MEMS传感器研发已完成初样流片及搭载测试平台搭建。公司采取内生研发与外部并购并行的双轮驱动策略，致力于成为等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台型企业。
中国大陆市场仍由海外巨头主导，2024年国产化率不足12%。根据弗若斯特沙利文统计，恒运昌在国产厂商中市场份额排名第一。主要竞争对手包括成都英杰晨晖科技有限公司、北京华丞电子股份有限公司。公司竞争优势体现在三个方面：一是技术优势，构建“基石技术+产品化支撑技术”体系，掌握信号采样处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等关键技术，截至2025年底累计申请专利490项，其中发明专利262项，占比53.47%，已授权专利296项；二是产品优势，具备成熟的规模化量产能力，满足“精确复制”要求，已成为国内头部设备商的战略级供应商；三是团队优势，研发人员158人，本科及以上学历占比84.81%，核心团队拥有二十年以上行业经验。
公司引进真空泵、质量流量计、等离子体直流电源等核心零部件，与自研产品协同提供等离子体工艺解决方案。真空泵用于反应腔获取和维持真空环境；质量流量计用于精确控制工艺气体输入；等离子体直流电源用于真空镀膜装备中靶材溅射沉积。
公司技术服务业务主要为晶圆厂提供等离子体射频电源系统的原位替换及维修服务，承接因实体清单限制而无法获得海外供应商支持的国产替代需求。
2025年公司产能利用率达98.51%。公司将通过推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司建设、加快深圳产能落地、推进建设半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地等多项措施释放后续产能。
公司未来发展规划包括：持续增加研发投入，完善研发机制，推动产品迭代升级；在沈阳建设半导体射频电源系统产业化中心，在深圳扩建智能化生产运营基地，提升智能制造水平；坚持以客户为中心，强化技术销售与服务能力建设，培养复合型技术精英，提升全链条专业化服务水平。
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