华海清科：部分产品在客户端产线用于晶圆制造时，会涉及少量臭氧水的使用

证券之星07-03

证券之星消息，华海清科(688120)07月03日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：公司cmp设备有涉及到臭氧水设备模块吗？cmp抛光后与臭氧清洗的结合是否为先进制程的趋势？

华海清科回复：尊敬的投资者您好！公司部分产品在客户端产线用于晶圆制造时，会涉及少量臭氧水的使用。从目前来看，此工艺为部分特定工艺需求和场景可选用的技术方案，我们也将密切跟踪半导体行业技术演进趋势，持续推进产品技术迭代与品类拓展，致力于为客户提供更先进、更多元化的装备解决方案。感谢您对公司的关注！

本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。

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责任编辑：刘浩然

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