华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆后处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202310857977.4，授权日为2026年7月3日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：箱体；夹持组件，其设置于箱体中，以水平夹持待清洗晶圆；刷洗组件，其设置于箱体中，所述刷洗组件配置有刷体，所述刷体能够抵接晶圆并在上方移动；所述刷洗组件还包括转轴和摆臂，所述转轴设置于夹持组件侧方，所述摆臂连接于转轴，所述刷体设置于摆臂的端部；所述转轴能够沿竖向移动，以控制刷体对晶圆的作用力；所述刷体与摆臂之间设置有压力传感器，以监控刷体对晶圆的作用力。

今年以来华海清科新获得专利授权49个，较去年同期增加了4.26%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目290次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息825条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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