汇成真空:公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术

证券之星06-17

证券之星消息,汇成真空(301392)06月17日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:汇成真空的TGV专用HiPIMS深孔溅射设备专门针对玻璃微孔高深径比金属化,高功率脉冲HiPIMS路线,适配50–300μm超薄玻璃,深径比稳定15:1,孔内壁镀膜均匀性±3%,适配 G1-G5大尺寸玻璃基板,HBM玻璃中间层,CPO光模块;是国内唯一能够供货TGV深孔镀膜的公司。请问老师,上述对贵司TGV高端镀膜设备有没有客观描述,公司有这类设备出售或者订单需求?

汇成真空回复:尊敬的投资者,您好。公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术,射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合,自动升降传输基材,支持多个阴极同时溅射,镀制多层膜,自动处理工艺并记录数据,有关经营情况可关注公司定期报告,感谢您的提问。

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责任编辑:陈思雨

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