南大光电：公司三氟化氮产品主要应用于IC、LCD制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节

证券之星06-18

证券之星消息，南大光电(300346)06月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：请问贵公司的三氟化氮纯度等级为多少N？总产能如何，是否达产？主要用途是什么，是否可以应用于高纯度六氟化钨的制造？

南大光电回复：感谢您的关注！公司三氟化氮产品主要应用于IC、LCD制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节，现有产能9200吨。

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

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责任编辑：刘浩然

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