快科技5月29日消息,荷兰ASML公司不仅独占了全球EUV光刻机,在DUV光刻机中也成为主力,这方面已经完全超越了曾经的霸主日本,但尼康并不打算放弃,现在要跟ASML打价格战。
尼康CEO大村康弘日前在采访中表示,公司正在尝试提供价格低于ASML的方式来赢得新的ArF光刻机订单。
尼康也有打价格战的本钱,大村康弘表示尼康能在成本上与之竞争,因为他们可以自产许多零部件。
目前尼康正在跟亚洲及美洲的主要芯片制造商进行谈判,已经接近达成采购订单了。
ArF光刻机是DUV光刻机中的一种,而且是当前比较高端的范畴,193nm波长,有干式和沉浸式两种类型,又以后者为高端,ASML当前主力型号1980i、2000i就是这个级别的,也是国内这几年进口最多的光刻机类型。
ArF光刻机配合多种技术之后可以量产7nm级的工艺,即便是EUV光刻机量产多年之后,芯片生产中依然需要ArF光刻机,因为不是所有的芯片层都要用EUV光刻,不然成本就太高了。
日本的佳能、尼康不仅是相机巨头,曾经也是光刻机中的大腕,地位一度比ASML都高,Intel公司早些年就采购了大量尼康的光刻机,占比一度高达80%。
不过讽刺的是或许就是对日系光刻机的依赖太多,导致Intel错过了DUV到EUV的升级转换,反而让他们在这十年来落后于台积电了。
不过尼康的ArF光刻机依然有可取之处,自身就有光学镜头研发,CD均匀性方面表现一直很好,而且现在打价格战,20-30%的低价意味着能节省大量投资,很适合晶圆厂作为ASML光刻机的低配版搭档使用。

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