芯片产业链分化，半导体设备板块走强，半导体设备ETF易方达（159558）标的指数半日涨近1%

　　5月12日早盘，芯片产业链走势分化，半导体设备板块逆势走强。截至午间收盘，中证半导体材料设备主题指数上涨1.0%，上证科创板芯片指数上涨0.5%，中证芯片产业指数下跌0.3%，上证科创板芯片设计主题指数下跌0.5%，半导体设备ETF易方达(159558，联接基金A/C：021893/021894)半日成交额近6亿元，较昨日大幅放量。