普达特科技(00650)一台12英寸LPCVD炉管设备成功通过客户验收

智通财经03-24

智通财经APP讯，普达特科技(00650)公布，公司一台12英寸LPCVD炉管设备成功通过客户验收，该设备应用于LP-SiN薄膜沉积工艺。此外，另一台12英寸ALD炉管设备在客户端处于验证过程中，该设备应用于ALD-SiN╱ALD-SiCN薄膜沉积工艺，兼容Thermal╱Plasma模式。公司先进半导体炉管设备产品线，拥有Galilee-LP与Galilee-ALD两大设备平台，致力于服务12...

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