随着全球半导体制程推进至2纳米以下世代,晶圆厂对洁净室环境要求不断拉升,气态分子污染物(AMC)解决方案需求快速攀升,包括滤能、钰祥与来自瑞典的康法(Camfil)等大厂,在产业扩产潮与先进制程快速推进,主力客户皆为台积电带动下,近年罕见出现供应吃紧,甚至酝酿新一波涨价。先进制程线宽线径愈来愈窄,AMC对于制程良率的影响持续增加。 因先进制程对于AMC微污染十分敏感,当制程持续演进,对AMC控制有...
网页链接随着全球半导体制程推进至2纳米以下世代,晶圆厂对洁净室环境要求不断拉升,气态分子污染物(AMC)解决方案需求快速攀升,包括滤能、钰祥与来自瑞典的康法(Camfil)等大厂,在产业扩产潮与先进制程快速推进,主力客户皆为台积电带动下,近年罕见出现供应吃紧,甚至酝酿新一波涨价。先进制程线宽线径愈来愈窄,AMC对于制程良率的影响持续增加。 因先进制程对于AMC微污染十分敏感,当制程持续演进,对AMC控制有...
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