精测电子：北京精测半导体未采用Ar和F₂混合气体放电方案

证券之星11-27

证券之星消息，精测电子(300567)11月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩）和 F₂（氟气）混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？

精测电子回复：您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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