英杰电气：金刚石与碳化硅设备电源已批量供货

证券之星消息，英杰电气(300820)10月21日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：请问公司上半年是否有金刚石、碳化硅、氮化镓、氮化铝等CVD设备用射频电源的批量销售？

英杰电气回复：您好！您提及的电源产品，隶属于公司半导体等电子材料业务板块，金刚石设备与碳化硅设备电源产品是其中的核心产品。这类产品在数年前实现研发突破后，已进入向客户批量供货阶段，目前处于持续状态。需特别说明的是，此类电源不属于射频电源范畴；公司射频电源的核心应用场景为半导体先进制程关键设备，目前主要用于刻蚀设备与薄膜沉积设备。感谢您的关注。

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