三星重金加购两台High NA EUV光刻机!为了2nm拼了

快科技2025-10-20

快科技10月20日消息,据报道,三星计划加大对极紫外(EUV)光刻设备的投资,购买新一批EUV光刻设备。其中,存储部门将部署五套专用标准EUV设备,以建立独立生产线,三星位于平泽的晶圆代工厂和存储生产线此前曾共用EUV设备。同时三星将为晶圆代工部门新增两套最新的High NA EUV设备,三星计划在2025年底和2026年初分别交付一套,用于其2nm制程的全面生产,其中一套将部署在华城厂区,另一套...

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