拓荆科技申请加热盘驱动装置及薄膜沉积设备专利，提高镀膜均匀性

金融界2025-08-01

金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“加热盘驱动装置及薄膜沉积设备”的专利，公开号CN120400807A，申请日期为2025年04月。专利摘要显示，本发明公开了一种加热盘驱动装置及薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备包括：腔体、加热盘及其驱动装置，驱动装置包括驱动件、第一驱动轴和第二驱动轴，所述第一驱动轴的顶端与所述加热盘的盘柄的底端固定连接，所述...

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