龙图光罩90nm掩模版量产，已启动28nm制程掩模版的规划

电子发烧友2025-07-30

电子发烧友网报道（文/莫婷婷）近日，龙图光罩宣布珠海项目顺利投产，公司第三代掩模版PSM产品取得显著进展。KrF-PSM和ArF-PSM陆续送往部分客户进行测试验证，其中90nm节点产品已成功完成从研发到量产的跨越，65nm产品已开始送样验证。掩模版也称光罩，是集成电路制造过程中的图形转移工具或者母板，载着图形信息和工艺技术信息，广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领域。掩模版的作用是将...

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