证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统”,专利申请号为CN202422027461.X,授权日为2025年7月8日。专利摘要:本申请涉及一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统,其中,硅烷尾气处理装置包括依次连通设置的第一管路、驱动泵、第二管路和尾气燃烧部;第二管路设有温度检测部件和压力检测部件;第一管路设有第一阀件...
网页链接证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统”,专利申请号为CN202422027461.X,授权日为2025年7月8日。专利摘要:本申请涉及一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统,其中,硅烷尾气处理装置包括依次连通设置的第一管路、驱动泵、第二管路和尾气燃烧部;第二管路设有温度检测部件和压力检测部件;第一管路设有第一阀件...
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