突破掩模限制！尼康发布全球首款后道光刻机

快科技2025-07-23

快科技7月23日消息，据媒体报道，全球光刻巨头尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统——DSP-100，并已启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。该设备以“高精度、大尺寸、高效率”为核心优势，旨在为快速发展的扇出型面板级封装（FOPLP）技术提供关键设备支持。DSP-100将FPD曝光设备的多镜组技术，与半导体高分辨率工艺相结合，实现了1.0μm（...

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{"i18n":{"language":"zh_CN"},"isChannel":false,"data":{"share":"https://www.laohu8.com/m/news/2553264070?lang=zh_CN&edition=full","thumbnail":"","is_english":false,"pubTime":"2025-07-23 08:41","share_image_url":"https://static.laohu8.com/9a95c1376e76363c1401fee7d3717173","id":"2553264070","market":"us","top_or_hot":-1,"title":"突破掩模限制！尼康发布全球首款后道光刻机","media":"快科技","content":"<div>\n<p>快科技7月23日消息，据媒体报道，全球光刻巨头尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统——DSP-100，并已启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。该设备以“高精度、大尺寸、高效率”为核心优势，旨在为快速发展的扇出型面板级封装（FOPLP）技术提供关键设备支持。DSP-100将FPD曝光设备的多镜组技术，与半导体高分辨率工艺相结合，实现了1.0μm（...</p>\n\n<a href=\"http://gu.qq.com/resources/shy/news/detail-v2/index.html#/?id=nesSN2025072308473797b170b2&s=b\">网页链接</a>\n\n</div>\n","source":"tencent","html":"<!DOCTYPE html>\n<html>\n<head>\n<meta http-equiv=\"Content-Type\" content=\"text/html; charset=utf-8\" />\n<meta name=\"viewport\" content=\"width=device-width,initial-scale=1.0,minimum-scale=1.0,maximum-scale=1.0,user-scalable=no\"/>\n<meta name=\"format-detection\" content=\"telephone=no,email=no,address=no\" />\n<title>突破掩模限制！尼康发布全球首款后道光刻机</title>\n<style type=\"text/css\">\na,abbr,acronym,address,applet,article,aside,audio,b,big,blockquote,body,canvas,caption,center,cite,code,dd,del,details,dfn,div,dl,dt,\nem,embed,fieldset,figcaption,figure,footer,form,h1,h2,h3,h4,h5,h6,header,hgroup,html,i,iframe,img,ins,kbd,label,legend,li,mark,menu,nav,\nobject,ol,output,p,pre,q,ruby,s,samp,section,small,span,strike,strong,sub,summary,sup,table,tbody,td,tfoot,th,thead,time,tr,tt,u,ul,var,video{ font:inherit;margin:0;padding:0;vertical-align:baseline;border:0 }\nbody{ font-size:16px; line-height:1.5; color:#999; background:transparent; }\n.wrapper{ overflow:hidden;word-break:break-all;padding:10px; }\nh1,h2{ font-weight:normal; line-height:1.35; margin-bottom:.6em; }\nh3,h4,h5,h6{ line-height:1.35; margin-bottom:1em; }\nh1{ font-size:24px; }\nh2{ font-size:20px; }\nh3{ font-size:18px; }\nh4{ font-size:16px; }\nh5{ font-size:14px; }\nh6{ font-size:12px; }\np,ul,ol,blockquote,dl,table{ margin:1.2em 0; }\nul,ol{ margin-left:2em; }\nul{ list-style:disc; }\nol{ list-style:decimal; }\nli,li p{ margin:10px 0;}\nimg{ max-width:100%;display:block;margin:0 auto 1em; }\nblockquote{ color:#B5B2B1; border-left:3px solid #aaa; padding:1em; }\nstrong,b{font-weight:bold;}\nem,i{font-style:italic;}\ntable{ width:100%;border-collapse:collapse;border-spacing:1px;margin:1em 0;font-size:.9em; }\nth,td{ padding:5px;text-align:left;border:1px solid #aaa; }\nth{ font-weight:bold;background:#5d5d5d; }\n.symbol-link{font-weight:bold;}\n/* header{ border-bottom:1px solid #494756; } */\n.title{ margin:0 0 8px;line-height:1.3;color:#ddd; }\n.meta {color:#5e5c6d;font-size:13px;margin:0 0 .5em; }\na{text-decoration:none; color:#2a4b87;}\n.meta .head { display: inline-block; overflow: hidden}\n.head .h-thumb { width: 30px; height: 30px; margin: 0; padding: 0; border-radius: 50%; float: left;}\n.head .h-content { margin: 0; padding: 0 0 0 9px; float: left;}\n.head .h-name {font-size: 13px; color: #eee; margin: 0;}\n.head .h-time {font-size: 11px; color: #7E829C; margin: 0;line-height: 11px;}\n.small {font-size: 12.5px; display: inline-block; transform: scale(0.9); -webkit-transform: scale(0.9); transform-origin: left; -webkit-transform-origin: left;}\n.smaller {font-size: 12.5px; display: inline-block; transform: scale(0.8); -webkit-transform: scale(0.8); transform-origin: left; -webkit-transform-origin: left;}\n.bt-text {font-size: 12px;margin: 1.5em 0 0 0}\n.bt-text p {margin: 0}\n</style>\n</head>\n<body>\n<div class=\"wrapper\">\n<header>\n<h2 class=\"title\">\n突破掩模限制！尼康发布全球首款后道光刻机\n</h2>\n\n<h4 class=\"meta\">\n\n\n2025-07-23 08:41 北京时间&nbsp;&nbsp;&nbsp;<a href=http://gu.qq.com/resources/shy/news/detail-v2/index.html#/?id=nesSN2025072308473797b170b2&s=b><strong>快科技</strong></a>\n\n\n</h4>\n\n</header>\n<article>\n<div>\n<p>快科技7月23日消息，据媒体报道，全球光刻巨头尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统——DSP-100，并已启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。该设备以“高精度、大尺寸、高效率”为核心优势，旨在为快速发展的扇出型面板级封装（FOPLP）技术提供关键设备支持。DSP-100将FPD曝光设备的多镜组技术，与半导体高分辨率工艺相结合，实现了1.0μm（...</p>\n\n<a href=\"http://gu.qq.com/resources/shy/news/detail-v2/index.html#/?id=nesSN2025072308473797b170b2&s=b\">网页链接</a>\n\n</div>\n\n\n</article>\n</div>\n</body>\n</html>\n","isBrief":false,"type":0,"news_type":1,"symbol":"BK4078","symbol_name":"消费电子产品","start_time":0,"source_url":"http://gu.qq.com/resources/shy/news/detail-v2/index.html#/?id=nesSN2025072308473797b170b2&s=b","article_id":"2553264070","we_media_id":null,"thumbnails":[],"rights":{"source":"tencent","url":"http://gu.qq.com/resources/shy/news/detail-v2/index.html#/?id=nesSN2025072308473797b170b2&s=b","rn_cache_url":null,"customStyle":"body{padding-top:10px;}#news_title{font-weight:bold;#titleStyle#;}#news_description span{font-size:12px;#descriptionStyle#;}.footer-note{#statement#}","selectors":".mod-LoadTzbdNews, body","filters":".relate-stock, .hot-list, .recom-box, .wx-sou","directOrigin":true},"url":"https://stock-news.laohu8.com/highlight/detail?id=2553264070","pubTimestamp":1753231261,"columns":[],"sourceInfo":{"source_id":"tencent","name":"腾讯"},"weMediaInfo":null,"summary":"快科技7月23日消息，据媒体报道，全球光刻巨头尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统——DSP-100，并已启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。台积电、英特尔、三星等行业巨头正积极采用FOPLP技术以突破300mm晶圆限制。尼康透露，DSP-100已获得多家头部封测厂的订单意向。公司预计，该设备在2026财年上市后，将迅速抢占FOPLP设备市场20% 的份额，成为推动先进封装技术演进的重要力量。","collect":0,"end_time":0,"defaultTopTitle":"qq.com","property":[],"viewcount":null,"language":"zh","relate_stocks":{"BK4078":"消费电子产品","NINOY":"尼康"},"translate_title":"Break through the mask limit! Nikon releases world's first back-end lithography","themeId":null,"isJumpTheme":false,"ttsUrl":null,"symbols_score_info":{"NINOY":1},"content_text":"快科技7月23日消息，据媒体报道，全球光刻巨头尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统——DSP-100，并已启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。该设备以“高精度、大尺寸、高效率”为核心优势，旨在为快速发展的扇出型面板级封装（FOPLP）技术提供关键设备支持。DSP-100将FPD曝光设备的多镜组技术，与半导体高分辨率工艺相结合，实现了1.0μm（1000nm）的线宽/间距（L/S）分辨率，重合精度≤±0.3μm，不仅提升了图像的清晰度，扩大曝光范围，生产效率也提升30%左右。与传统光刻机不同，DSP-100采用无掩膜的SLM（空间光调制器）技术，直接将电路图案投射到基板上，无需使用光掩膜。这种方式既避免了掩膜尺寸的限制，还能大幅降低开发和生产成本，同时缩短产品设计和制造周期。由于无需掩膜，该设备还可以有效减少光学畸变，提高成像质量。DSP-100支持最大600mm x 600mm的方形基板，适用于扇出面板级封装（FOPLP）技术，这是当前先进封装领域的重要趋势。相比传统300mm晶圆，600mm基板能显著提升单位载板产量（例如，封装100mm见方芯片时效率可提升9倍）。实测数据显示，在510mm×515mm基板上，其每小时处理量可达50片，远超现有晶圆级封装方案。整体生产效率提升约30%。随着AI芯片用量年均激增35%，先进封装市场正以20% 的复合增长率高速扩张。台积电、英特尔、三星等行业巨头正积极采用FOPLP技术以突破300mm晶圆限制。DSP-100的推出，正为这一蓬勃发展的市场提供了急需的先进装备。尼康透露，DSP-100已获得多家头部封测厂的订单意向。公司预计，该设备在2026财年上市后，将迅速抢占FOPLP设备市场20% 的份额，成为推动先进封装技术演进的重要力量。","kind":"news","is_publish_news":true,"is_publish_highlight":false,"is_publish_live":false,"is_publish_wemedia":null,"editions":null,"column":"","sentiment":"1","news_tag":"productRelease","news_rank":0,"symbols":[],"gpt_button":1,"need_auth":false,"code":"91000000","status":"200"},"commentList":[],"isCommentEnd":true,"newsSizeData":{"likeSize":0,"commentSize":0,"repostSize":0,"favoriteSize":0,"likeStatus":false,"favoriteStatus":false},"APP":{"userAgent":"Mozilla/5.0 AppleWebKit/537.36 (KHTML, like Gecko; compatible; ClaudeBot/1.0; +claudebot@anthropic.com)","isDev":false,"isTTM":false,"tenantId":"TBCN","deviceId":"web-server-community-laohu8-v3","version":"4.36.2","shortVersion":"4.36.2","platform":"web","vendor":"web","appName":"laohu8","isIOS":false,"isAndroid":false,"isTiger":false,"isTHS":false,"isWeiXin":false,"isWeiXinMini":false,"isWeiBo":false,"isQQ":false,"isBaiduSwan":false,"isBaiduBox":false,"isDingTalk":false,"isToutiao":false,"isOnePlus":false,"isHuaWei":false,"isXiaomi":false,"isXiaomiWebView":false,"isOppo":false,"isVivo":false,"isSamsung":false,"isMobile":false},"href":"/m/news/2553264070","isCrawlerRequest":true}