华海清科首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机

华海清科2025-07-14

7月14日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机，发往国内逻辑芯片制造领域龙头企业。这一重要时刻标志着华海清科成功实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号的全覆盖。离子注入装备是集成电路制造前道工艺的关键装备，技术壁垒高，国内集成电路制造企业主要依赖进口装备，国产替代...

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