龙腾光电获得实用新型专利授权：“干蚀刻机下电极和干蚀刻机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“干蚀刻机下电极和干蚀刻机”，专利申请号为CN202422193311.6，授权日为2025年7月11日。

专利摘要：本实用新型实施例公开了一种干蚀刻机下电极和干蚀刻机，干蚀刻机下电极包括：基体、电极层、介质层和土堤，电极层位于基体一侧；介质层位于电极层远离基体一侧；土堤位于电极层远离基体一侧，且土堤围绕介质层设置；其中，至少部分土堤在远离基体一侧的表面上设置有导槽。本实用新型实施例提供的技术方案，通过在土堤远离基体一侧的表面上设置导槽，使得土堤表面不再是光滑的平面，从而增加土堤的粗糙度，以便降低土堤与待刻蚀件之间的粘附性，避免出现待刻蚀件破片的风险。且由于导槽的存在，可以减少对土堤的打磨次数，减轻对下电极造成损坏，有利于延长下电极的保养时间。

今年以来龙腾光电新获得专利授权40个，较去年同期减少了64.6%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.29亿元，同比增4.04%。

通过天眼查大数据分析，昆山龙腾光电股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目183次；财产线索方面有商标信息23条，专利信息3962条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可20个。

数据来源：天眼查APP

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