至纯科技获得发明专利授权：“一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组及晶圆干燥系统”，专利申请号为CN202310198518.X，授权日为2025年7月4日。

专利摘要：本发明涉及到一种可用在晶圆干燥系统的多气体排放集成化模组，其结构包括有：槽体排风口、主体排风口和起泡器排风口，所述槽体排风口、主体排风口和起泡器排风口分别设置在外壳上，外壳内设有气缸，所述气缸连接所述排风通断挡板，前置连接管道的一端连接外壳，另一端连接中置调气管道，在前置连接管道内设置有主回路调压挡板，中置调气管道的进气端连接前置连接管道，出气端连接排出管道，其上设有旋转气缸模组，所述旋转气缸模组连接设在中置调气管道内的总回路通断挡板，排出管道的出气端伸出于晶圆干燥系统外。本发明的集成化模组通过集成化的排气控制方式来改善基于马兰格尼干燥技术的干燥过程中的排气问题。

今年以来至纯科技新获得专利授权20个，较去年同期增加了25%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增19.17%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息102条，专利信息308条，著作权信息27条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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