华海清科公司跟踪报告：深化“装备+服务”平台化布局核心新品产业化进展顺利

方正证券2025-07-03

华海清科践行“装备+服务”的平台化发展战略。公司CMP 设备具有较高市占率，减薄机和低能大束流离子注入装备均实现多台验收，同时拟将晶圆再生产能扩充至60 万片/月，显著受益晶圆厂加速扩产趋势。CMP：Universal-H300 已获得批量重复订单，并实现规模化出货；面向第三代半导体客户的专用CMP 装备研制成功并已发往客户端验证；新签订单中先进制程的订单已实现较大占比，公司部分先进制程CMP ...

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