中微半导体申请冷却液供应系统和等离子处理器专利，使冷却液供应系统长期稳定运行

金融界2025-06-28

金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种冷却液供应系统和一种等离子处理器”的专利，公开号CN120221434A，申请日期为2023年12月。专利摘要显示，本发明公开一种用于控制基座温度的冷却液供应系统，所述冷却液供应系统包括两个三通阀门，分别控制输出冷却液流量比例和回流冷却液流量比例，还包括两个旁路阀实现输出和回流的冷却液流量...

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