江丰电子获得实用新型专利授权:“一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件”

证券之星2025-06-18

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件”,专利申请号为CN202420558094.3,授权日为2025年6月3日。

专利摘要:本实用新型提供了一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件,所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板;所述背板的下表面两侧分别独立地设置有密封槽和压设于所述密封槽上的压块;所述密封槽的内部设置有密封圈;所述背板的下表面两侧分别独立地设置有绝缘垫片,且所述绝缘垫片位于所述密封槽的侧边。通过在背板密封槽的侧边设置有绝缘垫片,避免了背板与压块的直接接触,从而防止了背板与压块发生电化学腐蚀,减少PVD机台发生电流、电压异常,进而降低生产成本和设备维护成本。

今年以来江丰电子新获得专利授权32个,较去年同期减少了31.91%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.17亿元,同比增26.5%。

数据来源:天眼查APP

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