圆益IPS申请基板处理装置及基板处理装置的维护方法专利，涉及利用等离子体执行基板处理

金融界2025-05-31

金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“基板处理装置及基板处理装置的维护方法”的专利，公开号CN120072608A，申请日期为2023年12月。专利摘要显示，本发明涉及基板处理装置及基板处理装置的维护方法，更详细地说，涉及利用等离子体执行基板处理的基板处理装置及基板处理装置的维护方法。本发明公开一种基板处理装置，包括：工艺腔室(100)，上部...

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