新毅东申请光刻机光电模块及距离参数调节方法专利，降低光电模块的系统复杂性和成本

金融界2025-05-31

金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“光刻机的光电模块及用于其的距离参数调节方法”的专利，公开号CN120065651A，申请日期为2025年04月。专利摘要显示，本申请涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机的光电模块和用于其的距离参数调节方法。所述光电模块包括：光源，用于在预定光强条件下发光；被测物，其被测平面反射来自光源的光；相机，用于...

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