福建金石申请单体回转空间型ALD沉积镀膜设备专利，提高工艺节拍

金融界2025-05-17

金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，福建金石智能装备制造有限公司申请一项名为“一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备”的专利，公开号CN119980195A，申请日期为2025年3月。专利摘要显示，本发明公开了一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备，包括主腔体、左腔门、右腔门，所述左腔门与右腔门通过腔门铰链分别连接到主腔体两侧，左腔门与右腔门均可与主腔体组成独立的真空反应腔室，...

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