合肥清溢光电取得掩膜版清洗机支撑装置专利，有效减少掩膜版清洗甩干后的水印

金融界2025-04-22

金融界2025年4月22日消息，国家知识产权局信息显示，合肥清溢光电有限公司取得一项名为“一种掩膜版清洗机的支撑装置”的专利，授权公告号CN222748844U，申请日期为2024年4月。专利摘要显示，本实用新型涉及掩膜版清洗技术领域，公开了一种掩膜版清洗机的支撑装置，通过采用带有球面凸起的支撑柱对于掩膜板进行支撑，从而在清洗承载台上方的喷淋装置对于掩膜版进行清洗时，由于掩膜版与支撑柱的接触面积...

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