先锋精科：公司的核心产品包括腔体、内衬、加热器、匀气盘等直接参与晶圆反应或与晶圆直接接触的关键工艺部件

互动易2025-03-10

有投资者向先锋精科提问，请问公司有哪些技术和产品具有核心竞争力？公司回答表示，尊敬的投资者，您好！公司的核心产品包括腔体、内衬、加热器、匀气盘等直接参与晶圆反应或与晶圆直接接触的关键工艺部件。公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备核心零部件领域凭借产品专精的特点居于重要地位，已在精密机械制造技术、表面处理技术、焊接技术三大重点技术领域形成了丰富的工程技术能力，在高端器件领域形成了自主设计和开发技术，同时...

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