英特尔首批两台High NA EUV光刻机投产,单季生产3万片晶圆

爱集微2025-02-25

英特尔表示,ASML的首批两台尖端光刻机已在其工厂“投入生产”,早期数据显示,它们比早期型号更可靠。在加利福尼亚州圣何塞举行的一次会议上,英特尔高级首席工程师Steve Carson表示,英特尔利用ASML的高数值孔径(High NA)EUV光刻机,在一个季度内生产30000片晶圆,这种大型硅片可以生产数千个计算芯片。2024年,英特尔成为全球第一家接收这些光刻设备的芯片制造商,预计这些设备将能够...

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