关于ASML光刻机的权力斗争内幕

虎嗅网05-01

最近半导体圈内有本大家很期待的新书，书名特别的短又特别的长。这本书就是《Focus》（聚焦），副标题是“ASML之道，关于地球上最复杂机器的权力斗争内幕”（The ASML Way—-Inside the power struggle over the most complex machine on earth）。此书首发荷文英文版，我看到国内出版社也已经签了中文版。但看完之后，忍不住泼一小盆冷水...

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earth）。此书首发荷文英文版，我看到国内出版社也已经签了中文版。但看完之后，忍不住泼一小盆冷水：因为按国内出版的严格要求，恐怕其中很大的篇幅甚至有可能五分之一的内容都得删改。原本大家都认为这本书是关于ASML的完整传记，这么说虽然也没错，但作者集中火力在描述目前的科技冷战和大国博弈；以及ASML如何在夹缝中挣扎，在挣扎中变异。书中拜登和特朗普大概各出现了30多次，荷兰首相吕特大概20次，所以你们也能猜到我们出现的次数也不少。废话不多说了，这里做个小读后感。纯属个人分享，不喜欢的话可以使劲喷。一本书前三分之一看得稍微有点郁闷，因为对于看过《光刻巨人》的话这部分信息增量有点少。好在作者对《光刻巨人》里的类似内容都以极大的幅度简化处理了。中间关于1995年上市后的内容，正好和《光刻机之战》系列文章产生了互动，其中一些不谋而合很有一种知音的感觉。比如，作者同样认为ASML以不值的高价收购美国SVG，是为了打入英特尔。美国身份既帮助了ASML在EUV研发中获取了利益，又为今天被迫在对中国的问题上站队付出了代价。又比如ASML向英特尔、三星和台积电出售股份其实是为了收购Cymer，在EUV绝路上孤注一掷。还有，对于林本坚对浸入式究竟有什么贡献，ASML官方一直是不提的。二关于书中的一些小花絮，我看得津津有味。英特尔的一个工厂，很诡异地在夜间1～2点良率会降低，然后又会自动恢复正常，技术人员百思不得其解。最后发现，原来是附近农场的牛放屁所致。书中也没写为什么牛会集中在那个时间段放屁，但屁中的甲烷确实飘散在空气中最终进入了洁净室。英特尔最后只得花钱请农场搬走。另外一个例子是关于风水，现在很多晶圆厂确实也很迷信的。亚利桑那有个晶圆厂里光刻机一直出问题，但工程师怎么检测都是正常的。更诡异的是，厂其它设备也频出问题。厂长听说这个厂是坐落在以前印第安的人墓地上，就请了风水师来看。风水师发现厂门口的一些花坛还是什么的混凝土有点像墓碑，得搬走。更神奇的是，这个巫师也穿上兔子服进了产线考察，他说亡灵们喜欢红色，得给他们些红色。厂长把包装镜头的鲜红纸盒叠了叠放在光刻机上，问题真的奇迹般消失了。多年来没人敢去动那个盒子，甚至新的光刻机进场也被要求放红盒子。三在台积电的一个晶圆厂现场，也曾有过一个浸没式设备问题；每次重新启动后，它会莫名其妙地在接下来的两个小时内产出次品芯，然后什么都不用调就一切恢复正常。技术人员经过几个月的研究才找出原因。每次当机器停机，会有五滴水滴在那一层浸水上，导致其膨胀了几个纳米。这就足以使投影图案偏离正常。两小时后水分蒸发完，浸水恢复原状，使机器没有任何错误的痕迹。类似这样的问题只有在工厂车间严酷的现实中才会暴露出来。即使经过多年的精心设计，这些机器面临的问题中有一半是难以想象的。在疫情期间，也有个有趣的花絮。范登布林克（以下简称大马丁）不喜欢电话会议，他要亲自去台湾面对面和台积电唠嗑。我们都知道，那时各国或地区都有一些隔离政策，大马丁的宝贵时间可不能在隔离酒店里废掉。肿么办呢？双方包下新竹的一座酒店，一半ASML员工住，一半台积电员工住，两者完全物理隔离。开会时他们才允许离开房间，在防疫人员的监督下走专用通道到会议室。会议室中间是一块亚克力玻璃完整分隔，这样他们能看到对方，但病毒很难穿过去。四除了技术问题，ASML一直以来最大的问题就是缺钱。其中忽悠英特尔一段最为有趣。我们在《三巨头为什么投资ASML》里也提过，英特尔投资是为了上18寸晶圆光刻机，他们对EUV非常不看好。ASML花那么大一笔钱收购Cymer，股东们原本不太想支持。大马丁着实忽悠了英特尔，装模作样研发18寸机，然后说如果想要得先下订单哟。英特尔可不想被PPT忽悠，想先看到机器再说。在2013年初，大马丁有预谋地把台积电、三星和英特尔的技术老板搞到一起，让那两家当面对英特尔说，他们不打算玩18寸。英特尔的老板被突然袭击搞懵了，还带这么耍赖的。要知道那时他们还如日中天呢，哪里轮得到亚洲的小愤青在标准上指手画脚。没想到，随后两个小愤青都超越了老大。这本书里重点刻画的两个主角，是前几天刚退休的ASML CEO温宁克和大马丁。温宁克出身平平，开始只是个外部会计师，这里我们又看到了CFO当CEO的一个案例，但故事的结局是美好的。温宁克的重要使命，就是给大马丁搞钱，为那些极为昂贵、失败率极高、回报遥遥无期的研发去搞钱。而大马丁呢，当然就是挥霍掉几亿十几亿的欧元去搞他的大玩具。这种配合听起来好像没什么了不起，但真了解现在上市公司治理结构和公众指标的话，才会知道这是多么的不同寻常。五另外一件有趣的事，是蔡司如何帮着ASML对抗尼康的法律大战。我们都知道通过双工台和浸入式，尼康在技术上已经很难翻盘了，所以他们后来搞起了专利战。毕竟人家玩了那么多年光刻，弄弄你侵权还是很轻松的。尤其ASML年轻的时候特别不重视专利，因此头上悬了一把剑。一个熟悉的剧本是，ASML在荷兰的法院全胜，但在美国困难很大。美国法院的一招制敌，就是侵权就让你禁售。ASML反复求尼康和解，尼康死活不干。这时蔡司骑着大白马出场了。作为百年巨头，相机专利那是一箩筐一箩筐的。蔡司伙同ASML告尼康相机侵权。你让我光刻机禁售，我让你相机禁售。更神奇的是，蔡司居然推出了个叫ZX1的相机，一个在手机时代毫无竞争力产品。媒体都很困惑，这是啥玩意儿，要知道蔡司上一代相机还是胶卷呢。这个机器从来买不到，只做了几台样机给网红造势。蔡司还为ZX1做了很多广告，因为要告尼康赔钱，它要证明自己确实有一款相机被侵权导致损失。这些广告显然都是给尼康看的。尼康真的有点慌了，最终同意了和ASML和解。然后蔡司的ZX1就消失了。六最后，书中关于中国的内容这里不方便多讲，咱简单截取一点来描述ASML如何在挣扎中变异。在本书中，我们看到ASML和荷兰一直在努力对抗美国的出口管制，对于中国剧增的DUV订单竭力交付。为了应付近两年出货量倍增，ASML的员工数也急剧膨胀，到2023年有四分之一的员工是一年内的新员工。但是，在技术保密层面，ASML也做了急转弯。ASML原本是个崇尚开放文化的公司，对公司技术文档的安全管理并不严格，因为他们需要和很多技术合作伙伴、客户以及科研机构紧密合作。ASML对保密采取了明显的实用主义态度。他们认为在技术竞赛中，只有一种赢的方法 -你必须比对手跑得更快。当然他们也很有自信，因为无数Know-how藏在不同的部件里甚至供应商端，复制确实也不容易。近年来ASML也自称开始频繁遭受间谍和黑客活动的袭击，仅在2022年就记录了2800起网络事件，从勒索软件攻击到窃取知识产权的尝试应有尽有。ASML里中国员工数量惊人，这部分归功于中国优秀的大学工科教育和扩招，ASML确实在全球也难以找到足够的其它国家工程师来替代。直到2021年ASML才开始对新招聘员工做背景审查。七更多内容咱也不方便多讲了。最后，我们从书中的描述一瞥能源问题。“光刻机从电网中获得500万瓦，产生30千瓦的激光，从而产生100瓦的EUV光。其中，大约有1瓦的光最终落在晶圆上。”读者们用膝盖算一算都能知道这种能源使用效率之低下，而这在其它领域也是完全不可想象的。据有人测算，拥有100台EUV的台积电，大概可消耗整个台湾岛十分之一的电力。虽然科学家们仍在努力，试图回收光刻机损失的巨大热量和能量，用于取暖或什么其它的，但这个功率巨兽也仍在进化变大。甚至，它加工出来的那些AI芯片，又会带来更恐怖的电力消耗。现在最大胆的预测，也许都是对未来巨大能源使用量的低估。总体来说，这本书还是值得一读的。作者的野心更大，他试图从更广阔的视野，包括地缘政治、能源环保、人力资源、文化商战等多个角度来勾勒ASML这家被迫站在聚光灯下的公司。","kind":null,"is_publish_news":null,"is_publish_highlight":null,"is_publish_live":null,"is_publish_wemedia":null,"editions":null,"symbols":[],"gpt_button":1},"commentList":[],"isCommentEnd":true,"newsSizeData":{"likeSize":0,"commentSize":0,"repostSize":0,"favoriteSize":0,"likeStatus":false,"favoriteStatus":false},"APP":{"userAgent":"Mozilla/5.0 AppleWebKit/537.36 (KHTML, like Gecko; compatible; ClaudeBot/1.0; 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