本文来自微信公众号:果壳硬科技 (ID:guokr233),作者:付斌,编辑:李拓,头图来自:视觉中国自从国产替代概念兴起,很少关注半导体行业的人都对光刻机有所耳闻。目前,全世界最先进的芯片,几乎都绕不开ASML(阿斯麦)的DUV(深紫外)和EUV(极紫外)光刻机,但它又贵又难造,除了全力研发光刻机,国产有没有其它的路可以走?事实上,光刻技术本身存在多种路线,离产业最近的,当属纳米压印光刻(...
网页链接本文来自微信公众号:果壳硬科技 (ID:guokr233),作者:付斌,编辑:李拓,头图来自:视觉中国自从国产替代概念兴起,很少关注半导体行业的人都对光刻机有所耳闻。目前,全世界最先进的芯片,几乎都绕不开ASML(阿斯麦)的DUV(深紫外)和EUV(极紫外)光刻机,但它又贵又难造,除了全力研发光刻机,国产有没有其它的路可以走?事实上,光刻技术本身存在多种路线,离产业最近的,当属纳米压印光刻(...
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